国林科技:半导体专用臭氧清洗设备预计2023年内完成产品验证


【资料图】

6月16日电,国林科技接受机构调研时表示,半导体专用臭氧清洗设备首台套已于2022年下半年交付于客户使用,公司陆续已送样客户包括半导体清洗设备、薄膜沉积设备头部企业及面板厂等,预计2023年内完成产品验证。

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